基本信息
| 标准名称： | 半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范 |
| 英文名称： | Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability availability and maintainability(RAM) |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术 >> 电子测量与仪器 >> 电子测量与仪器综合 |
| ICS分类： | 计量学和测量、物理现象 >> 长度和角度测量 >> 测量仪器仪表 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2009-10-15 |
| 实施日期： | 2009-12-01 |
| 首发日期： | 2009-10-15 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 469-203 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 中国电子技术标准化研究所 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2009-12-01 |
| 页数： | 36页 |
| 计划单号： | 20068064-T-469 |
适用范围
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前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 电子元器件与信息技术 电子测量与仪器 电子测量与仪器综合 计量学和测量 物理现象 长度和角度测量 测量仪器仪表